微光顯微鏡EMMI（P-100）
EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準(zhǔn)科技自有品牌，進(jìn)入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內(nèi)擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家知名客戶。
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EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準(zhǔn)科技自有品牌，進(jìn)入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內(nèi)擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家知名客戶。
EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準(zhǔn)科技自有品牌，進(jìn)入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內(nèi)擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家知名客戶。
Si探測器 | 采集晶片 | 硅基芯片 |
像素 | 1024 × 1024 pixel | |
像素尺寸 | 13 微米 × 13 微米 | |
晶片尺寸 | 13.3毫米 × 13.3 毫米 | |
噪音 | 6 electrons rms | |
冷卻方式 | 電制冷+水冷 | |
探測器晶片降溫 | -70°C | |
冷卻時(shí)間 | 小于10分鐘（常溫至-70°C） | |
InGaAs探測器 | 采集晶片 | 銦砷化鎵晶片 |
像素 | 640 × 512 pixel | |
像素尺寸 | 20 微米 x 20 微米 | |
圖像范圍 | 12.8毫米 x 10.24 毫米 | |
冷卻方式 | 電制冷+水冷 | |
探測器晶片降溫 | -70°C | |
冷卻時(shí)間 | 小于10分鐘（常溫至-70°C） | |
探針臺(tái) | 尺寸 | 6、8、12寸單雙面探針臺(tái)可選 |
電壓范圍 | 3000V以下可選 | |
電流范圍 | 直流10A以內(nèi)；脈沖40A以內(nèi)可選 | |
探針座移動(dòng)精度 | 0.7微米 | |
主機(jī)臺(tái) | 移動(dòng)方式 | 電控移動(dòng) |
X-Y-Z移動(dòng)范圍 | 50*50*70毫米（z軸移動(dòng)100毫米選配） | |
X-Y移動(dòng)精度 | 1微米 | |
Z移動(dòng)精度 | 0.2微米 | |
光學(xué)顯微鏡 | 品牌 | 日本三豐 |
目鏡 | 10X一對 | |
物鏡 | 2.5x,5x,20x,50x(100x選配） | |
其它 | 屏蔽箱 | 關(guān)門自動(dòng)切斷光源，內(nèi)部處于暗場環(huán)境 |
減震臺(tái) | 97%@10HZ |
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